Fraunhofer-Gesellschaft

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MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben

MEMS transducer for interacting with a volume flow of a fluid and method for producing same
 
: Schenk, Harald; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Langa, Sergiu

:
Frontpage ()

DE 102015210919 A1: 20150615
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
Ein MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids umfasst eine Substrat, das eine Kavität aufweist und einen elektromechanischen Wandler, der in der Kavität mit dem Substrat verbunden ist und ein sich entlang einer lateralen Bewegungsrichtung verformbares Element aufweist, wobei eine Verformung des verformbaren Elements entlang der lateralen Bewegungsrichtung und der Volumenstrom des Fluids kausal zusammenhängen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-435296.html