Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Weißlichtinterferometrie

 
: Riedel, Jörn

Sackewitz, Michael (Hrsg.) ; Fraunhofer-Allianz Vision:
Leitfaden zur optischen 3D-Messtechnik
Stuttgart: Fraunhofer Verlag, 2014 (Vision Leitfaden 14)
ISBN: 978-3-8396-0761-9
ISBN: 3-8396-0761-2
pp.40-44
German
Book Article
Fraunhofer IPT ()
optical metrology; optische Messtechnik

Abstract
Weißlichtinterferometer sind ein vielseitiges optisches Werkzeug zur schnellen, flächigen Erfassung von Topographiedaten und Oberflächenstrukturen bei sehr hoher vertikaler Auflösung.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-432268.html