Fraunhofer-Gesellschaft

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Hochgeschwindigkeitsmikroskopie zur Qualitätskontrolle

Piezoantriebe in echtzeitfähigen Autofokus-Systemen erweitern das Anwendungsspektrum von Mikroskopieverfahren
 
: Schenk, Friedrich; Arnold, Steffen; Reiff, Ellen-Christine

Inspect 17 (2016), No.3, pp.50-52
ISSN: 1616-5284
German
Journal Article
Fraunhofer IPT ()
Automatisierung; Bildverarbeitung; machine vision; Messtechnik; metrology; optical metrology

Abstract
Viele großflächige Objekte müssen zur Qualitätskontrolle auf mikroskopisch kleine Details untersucht werden. Vor allem wenn hohe Auflösung gefordert ist, können konventionelle Mikroskopieverfahren nicht mit der Geschwindigkeit der heute üblichen Automatisierungstechnik Schritt halten. Dank neuer Hochdurchsatz-Mikroskopiesysteme hat sich das nun geändert. Piezoaktoren als Antriebe in ihren echtzeitfähigen Autofokus-Systemen spielen dabei eine Schlüsselrolle.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-426604.html