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2008
Book Article
Titel
Simulationsumgebung für optische Messsysteme
Abstract
Optische Messverfahren haben sich für Prüfprozesse in der Produktion in den vergangenen Jahren etabliert. Sie zeichnen sich aus durch höchst genaue, berührungslose und schnelle Messungen. Ein optisches Messsystem zur Oberflächenprüfung und Rauheitsmessung ist das Interferenzmikroskop, welches anhand von Weißlichtinterferenzen Oberflächentopographien misst. Das Fraunhofer IPT entwickelt zur eingehenden Untersuchung des Messvorgangs solcher Systeme ein Simulationstool.