Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Reaktives Ionenätzen zur Mehrfachstrukturierung und Elektrodentrennung für Kondensatoranwendungen in der Halbleiterindustrie

 
: Pätzold, Björn
: Hohle, Christoph; Rudolph, Matthias; Rennekamp, Reinhold

:
Fulltext urn:nbn:de:0011-n-4264880 (3.9 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: af546469f0816c1a12bd6388fbd7a9ae
Created on: 4.1.2017


Dresden, 2016, III, 94 pp., IX
Dresden, Hochschule für Technik und Wirtschaft, Master Thesis, 2016
German
Master Thesis, Electronic Publication
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-426488.html