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Title
Strahlungsdetektor, Array von Strahlungsdetektoren und Verfahren zur Herstellung eines Strahlungsdetektors
Date Issued
2016
Author(s)
Patent No
102015208073
Abstract
Es wird ein Strahlungsdetektor mit einem Substrat und einer Membran, die über einen Abstandshalter oberhalb des Substrats aufgehängt ist beschrieben, wobei der Abstandshalter einen in der Membran gebildeten Strahlungssensor gegenüber dem Substrat thermisch isoliert. Ferner umfasst der Abstandshalter eine erste Schicht, die elektrisch leitend ist und einen ersten Pol des Strahlungssensors und des Substrats kontaktiert und eine zweite Schicht, die elektrisch leitend und von der ersten elektrisch leitfähigen Schicht elektrisch isoliert ist und einen zweiten Pol des Strahlungssensors und des Substrats kontaktiert, wobei sich der zweite Pol in der Polarität vom ersten Pol unterscheidet.
Language
de
Patenprio
DE 102015208073 A1: 20150430