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Vorrichtung mit Folie zum elektrostatischen Koppeln eines Substrates mit einem Substratträger

Device comprising film for electrostatic coupling of a substrate to a substrate carrier
 
: Landesberger, Christof

:
Frontpage ()

DE 102015210736 B3: 20150611
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer EMFT ()

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (100) zum elektrostatischen Koppeln eines Substrats (101) mit einem Substratträger (102), wobei die Vorrichtung (100) eine flexible Kunststoff-Trägerfolie (103), auf der eine elektrisch kontaktierbare Elektrodenstruktur (104) einseitig aufgebracht ist, und eine Abdeckschicht (105), die auf der der Trägerfolie (103) abgewandten Seite (106) der Elektrodenstruktur (104) mit der Elektrodenstruktur (104) in Kontakt bringbar ist, aufweist, wobei die Vorrichtung (100) derart ausgebildet ist, dass sie in einem gekoppelten Zustand zumindest abschnittsweise zwischen dem Substrat (101) und dem Substratträger (102) angeordnet ist und in einem nicht gekoppelten Zustand wiederverwendbar von dem Substratträger (102) entfernbar ist.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-426297.html