Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Mikromechanische Vorrichtung mit einem aktiv biegbaren Element

Micromechanical device with an actively deflectable element
 
: Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Stolz, Michael; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert

:
Frontpage ()

DE 102015206774 A1: 20150415
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
Es werden mikromechanische Vorrichtungen beschrieben, die ein aktiv biegbares Element aufweisen. Die Aktivierung wird durch einen Schichtstapel vorgenommen, der die Biegung ansprechend darauf, dass Anziehungskräfte auf die Schichten des Schichtstapels einwirken, bewirkt.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-426287.html