Fraunhofer-Gesellschaft

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Kontaktlose Mikroschalter auf der Basis von Dünnschichten aus Aluminiumnitrid und nanokristallinem Diamant

 
: Lang, Nicola
: Ambacher, Oliver

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Fulltext urn:nbn:de:0011-n-4235409 (10 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: 8947f708de4f423140a9533c9d04716f
Created on: 30.11.2016

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Stuttgart: Fraunhofer Verlag, 2016, 144 pp.
Zugl.: Freiburg, Univ., Diss., 2015
Science for systems, 26
ISBN: 978-3-8396-1053-4
German
Dissertation, Electronic Publication
Fraunhofer IAF ()
nanotechnology; electronics & communications engineering; Feldemissionssystem; Piezoelektrizität; Elektronenemission; elektronische Methode; mikrotechnologische Herstellung; Physiker; Kristallographen

Abstract
Die Architektur heutiger Mobilfunk-Front-Ends kann durch den Einsatz frequenzverstimmbarer Filter bzw. Schalter stark vereinfacht werden. Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, ein Resonatorsystem zu entwickeln, das auf einer kontaktlosen Signalübertragung basiert. Dies soll Verschleißerscheinungen minimieren und einen elektrischen Durchbruch verhindern. Es wird untersucht, ob dieser neuartige, kontaktlose Schalter für den Betrieb bei hohen Frequenzen geeignet ist. Die Schalterfunktion soll durch mechanische Modulation erreicht werden. Außerdem soll eine Frequenzverstimmbarkeit während des Betriebs gegeben sein, um den Anforderungen zukünftiger Hochfrequenzanwendungen gerecht zu werden. Das Resonatorsystem, das in dieser Arbeit im Detail vorgestellt wird, besteht aus zwei sich gegenüberstehenden Mehrschicht-Mikrobiegebalken, die nur durch einen Spalt im Nanometer-Bereich voneinander getrennt sind und unabhängig voneinander angeregt werden können. Die verwendeten Materialien, Aluminiumnitrid und nanokristalliner Diamant, ermöglichen in diesem System die piezoelektrische Anregung bzw. dienen als elastische Schicht und leitfähige Elektrode.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-423540.html