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Schichtaufbau für mehrschichtige Laue-Linsen bzw. zirkulare Multischicht-Zonenplatten

Layer structure for multilayer Laue lenses or circular multilayer zone plates
 
: Braun, Stefan; Kubec, Adam; Leson, Andreas; Menzel, Maik

:
Frontpage ()

DE 102015203604 A1: 20150227
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IWS ()

Abstract
Die Erfindung betrifft einen Schichtaufbau für mehrschichtige Laue-Linsen oder zirkulare Multischicht-Zonenplatten für Röntgenstrahlung mit abwechselnd auf einem Substrat angeordneten Schichten aus je einem Werkstoff mit einem höherem Brechungsindex und einem Werkstoff mit einem niedrigeren Brechungsindex. Dieser Schichtaufbau ist aus alternierend angeordneten Schichten innerhalb von Perioden, bestehend aus einer hochbrechenden Schicht, einer niedrigbrechenden Schicht und mindestens einem dritten Werkstoff für Zwischenschichten gebildet. Dabei weisen niedrigerbrechende Schichten Druckeigenspannung und höherbrechende Schichten Zugeigenspannung auf und das Produkt aus Schichtdicke und Eigenspannung ist in seiner Größe gleich, zumindest annähernd gleich. Zwischen höher- und niedrigerbrechenden Schichten ist jeweils eine Zwischenschicht angeordnet.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-423114.html