Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Direct integration of field effect transistors as electro mechanical transducer for stress on beam structures

Direktintegrierte Feldeffekttransistoren als elektromechanische Wandler für mechanische Spannungen an Balkenstrukturen
 
: Haas, S.; Hafez, N.; Loebel, K.-U.; Koegel, E.; Ramsbeck, M.; Reuter, D.; Horstmann, J.T.; Gessner, T.

Hoffmann, Martin (Hrsg.) ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
Mikro-Nano-Integration. Beiträge des 6. GMM-Workshops 2016. CD-ROM : 5. - 6. Oktober 2016 in Duisburg
Berlin: VDE-Verlag, 2016 (GMM-Fachbericht 86)
ISBN: 978-3-8007-4278-3
ISBN: 3-8007-4278-0
pp.13-16
Workshop Mikro-Nano-Integration <6, 2016, Duisburg>
English
Conference Paper
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-418862.html