Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Experimentalaufbau zur Messung vertikaler Oberflächen von mikromechanischen Aktoren am DHM

 
: Lemcke, Klaus Benjamin

Cottbus-Senftenberg, 2016, 39 pp.
Cottbus-Senftenberg, TU, Bachelor Thesis, 2016
German
Bachelor Thesis
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-415105.html