Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Trägersystem für mikrooptische und/oder andere Funktionselemente der Mikrotechnik

Support system for microtechnology functional elements
 
: Schröder, Henning; Böttger, Gunnar; Marx, Sebastian; Arndt-Staufenbiel, Norbert

:
Frontpage ()

DE 102015200123 A1: 20150108
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IZM ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Trägersystem für mikrooptische und/oder andere Funktionselemente der Mikrotechnik, das eine Grundplatte und ein oder mehrere darauf fixierte Halteelemente für die Funktionselemente aufweist. Das vorgeschlagene Trägersystem zeichnet sich dadurch aus, dass die Halteelemente teilweise oder vollständig aus mehreren dünnen gestapelten Platten aufgebaut sind, die eine Plattendicke von weniger als 1 mm aufweisen. Auf diese Weise lassen sich bspw. Halteelemente aus Glas oder Glaskeramik mit hoher Genauigkeit und nahezu beliebigen geometrischen Formen realisieren.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-405049.html