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Verfahren zum Abscheiden eines transparenten Mehrschichtsystems mit Kratzschutzeigenschaften

 
: Bartzsch, Hagen; Täschner, Kerstin; Frach, Peter

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Frontpage ()

DE 102014118487 A1: 20141212
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer FEP ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines transparenten Mehrschichtsystems mit Kratzschutzeigenschaften, umfassend ein Kunststoffsubstrat und eine darauf mittels einer plasmaunterstützten chemischen Dampfabscheidung abgeschiedene Kratzschutzschicht, wobei zum Abscheiden der Kratzschutzschicht mindestens ein metallorganischer Precursor und mindestens ein erstes Reaktivgas in eine Vakuumkammer eingelassen werden und das Plasma mittels eines gepulst betriebenen Magnetrons erzeugt wird. Zusätzlich wird im Mehrschichtsystem auch noch eine Sputter-Schicht mittels Magnetron-Sputtern bei Anwesenheit eines zweiten Reaktivgases abgeschieden, wobei die Sputter-Schicht mindestens eines der chemischen Elemente Zink, Zinn, Titan, Niob, Zirkon mit einem Masseanteil von mindestens 30 % aufweist.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-405032.html