Fraunhofer-Gesellschaft

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Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung eines Höhenprofils einer Oberfläche unter Verwendung einer länglichen Blende

 
: Fratz, Markus; Beckmann, Tobias

:
Frontpage ()

DE 102014223747 A1: 20141120
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPM ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Vermessung eines Höhenprofils einer Oberfläche durch interferierende Überlagerung einer von der Oberfläche reflektierten und/oder gestreuten Objektwelle mit einer Referenzwelle.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-405009.html