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Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung eines Höhenprofils einer Oberfläche unter Verwendung zumindest eines dispersiven Elementes

 
: Beckmann, Tobias; Fratz, Markus

:
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DE 102014223748 A1: 20141120
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPM ()

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Vermessung eines Höhenprofils einer Oberfläche, aufweisend eine Lichtquelle zur Erzeugung von Licht mit zumindest zwei verschiedenen Wellenlängen oder einem Wellenlängenbereich mit nicht verschwindender Breite; eine Vorrichtung zur Erzeugung einer Objektwelle und einer Referenzwelle der entsprechenden Wellenlängen aus dem von der Lichtquelle erzeugten Licht, wobei die Objektwelle auf die Oberfläche strahlbar ist, so dass mit der Objektwelle auf der Oberfläche ein streifenförmiger Bereich ausleuchtbar ist, der in einer x-Richtung auf der Oberfläche eine größere Ausdehnung hat, als in einer zur x-Richtung senkrechten y-Richtung auf der Oberfläche, einen ortsauflösenden Lichtsensor, eine Vorrichtung zum Überlagern der Objektwelle, nachdem sie von der Oberfläche reflektiert und/oder gestreut wurde, mit der Referenzwelle, so dass die Objektwelle und die Referenzwelle auf dem Lichtsensor interferieren, sowie weiter aufweisend mindestens ein dispersives Element, das im Strahlengang der mit der Referenzwelle überlagerten Objektwelle zwischen der Vorrichtung zum Überlagern der Objektwelle mit der Referenzwelle und dem Lichtsensor so angeordnet ist, dass Anteile der mit der Referenzwelle überlagerten Objektwelle unterschiedlicher Wellenlängen auf unterschiedliche Bereiche des Lichtsensors einfallen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-405008.html