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Verfahren zur Herstellung optisch wirksamer Elemente

 
: Szeghalmi, Adriana; Ghazaryan, Lilit; Kley, Ernst Bernhard

:
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DE 102015203307 B3: 20150224
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung optisch wirksamer Elemente, insbesondere optischer Gitter, bei denen auf einer Oberfläche eines Substrates eine Strukturierung mit in der Oberfläche ausgebildeten Vertiefungen/Zwischenräumen oder eine Strukturierung auf der Oberfläche eines Substrats ausgebildet und die Strukturierung mit einer Schicht abgedeckt ist. Dabei werden in einem Verfahrensschritt i) die ausgebildeten Vertiefungen oder Zwischenräume zwischen Erhebungen der Strukturierung mit einem Füllmaterial ausgefüllt oder verschlossen, wobei sich der Füllmaterialwerkstoff vom Werkstoff des Substrats und vom Werkstoff, aus dem die nanoporöse abdeckende Schicht gebildet ist, unterscheidet.; In einem nachfolgenden Verfahrensschritt ii) erfolgt ein Abtrag des Füllmaterials so weit, so dass auf nach aussen weisenden Stirnflächen von Stegen, die zwischen und neben den Zwischenräumen ausgebildet sind, kein Füllmaterial mehr vorhanden ist. In einem Verfahrensschritt iii) wird die Oberfläche mit der Strukturierung und den ausgefüllten Zwischenräumen mit der abdeckenden Schicht, die aus einem nanoporösen Werkstoff gebildet ist oder gebildet wird, beschichtet und in einem weiteren Verfahrensschritt iv) wird mit einer Behandlung eine Zersetzung des Füllmaterials erreicht wird, und zumindest die gebildeten Zersetzungsprodukte des Füllmaterials werden durch offene Poren der abdeckenden Schicht entfernt, so dass von Füllmaterial freie Hohlräume im Bereich der Vertiefungen erhalten werden, die von Substratwerkstoff und dem Werkstoff der abdeckenden Schicht umschlossen sind.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-404984.html