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Simulation und Optimierung eines Fokussensors in einem optisch-deflektometrischen Messsystem

 
: Grothaus, Sebastian

Aachen, 2010, 39 pp.
Aachen, TH, Bachelor Thesis, 2010
German
Bachelor Thesis
Fraunhofer IPT ()
Optik; Simulation; Interferometrie; Deflektometrie

Abstract
Im Rahmen dieser Bachelorarbeit soll durch die Nachstellung und Analyse eines Experimentalaufbaus eines optisch-deflektometrischen Messsystems die optische Strahlführung im Hinblick auf geringes Messrauschen verbessert werden. Weiterhin wird die Konzeption eines alternativen speziell an den Aufbau angepassten Fokussensors angestrebt der eine hohe zeitliche und örtliche Auflösung erreicht. Das weiter zu entwickelnde optisch-deflektometrisch Messsystem ist für den Einsatz in der Nanomessmaschine NMM-1 beabsichtigt und ermöglicht eine gleichzeitige Orts- und Steigungsmessung von freigeformten optischen Oberflächen. Durch die gleichzeitige Steigungsmessung wird ein numerischer Fehler bei bisher üblicher Berechnung der Steigung vermieden. Dabei ist die Genauigkeit der Steigungsbestimmung be i optischen Oberflächen von besonderer Wichtigkeit da die Steigung die optische Funktion einer Oberfläche bestimmt. Im Einzelnen sind folgende Arbeitsschritte durchgeführt worden: - Einarbeitung in das Optikdesign und die Funktionsweise sowie Bedienung der Simulationssoftware Zemax - Analyse eines in einer ersten Studie erstellten Aufbaus eines optisch deflektometrischen Messsystems und Nachstellung des Experimentalaufbaus in der Simulationssoftware - Optimierung des optischen Gesamtsystems auf erhöhte Lichtintensität zur Reduzierung des Rauschens der Messwerte - Simulation und Optimierung eines alternativen Fokussensors - Experimentelle Verifikation charakteristischer Kenngrößen und Parameter

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-404038.html