Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Zuverlässigkeitsbewertung von MEMS-Komponenten im Mikro-Nano-Übergangsbereich

 
: Michel, B.; Winkler, T.; Auersperg, J.

Dötzel, W. ; TU Chemnitz:
Mikrosystemtechnik Chemnitz '03. Mikromechanik & Mikroelektronik : 6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 29./30. Oktober 2003
Chemnitz: Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik, 2003
ISBN: 3-00-011655-9
pp.18-20
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <6, 2003, Chemnitz>
German
Conference Paper
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-39486.html