Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Reliability of micro- and nanosystems

 
: Michel, B.

Büttgenbach, S.; Westkämper, E. ; Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-:
MICRO.tec 2003: Applications - trends - visions. Proceedings : 2nd VDE World Microtechnologies Congress, October 13 - 15, 2003, International Congress Centre, Munich, Germany
Berlin: VDE Verlag, 2003
ISBN: 3-8007-2791-9
pp.365-368
World Microtechnologies Congress (MICRO.tec) <2, 2003, München>
English
Conference Paper
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-39485.html