Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Simulation von Plasmaprozessen

 
: Pflug, A.

Ostbayerisches Technologie-Transfer-Institut e.V. -OTTI-, Regensburg:
OTTI-Seminar Kathodenzerstäubung - Sputtering : 20. bis 21. Februar 2013 in Braunschweig
Regensburg: OTTI, 2013
pp.81-111
Seminar "Kathodenzerstäubung - Sputtering" <2013, Braunschweig>
German
Conference Paper
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-393973.html