English
Deutsch
Log In
Password Login
or
Log in with Fraunhofer Smartcard
Research Outputs
Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Konferenzschrift
Simulation von Plasmaprozessen
Details
Full
Export
Statistics
Options
2013
Conference Paper
Titel
Simulation von Plasmaprozessen
Author(s)
Pflug, A.
Hauptwerk
OTTI-Seminar Kathodenzerstäubung - Sputtering
Konferenz
Seminar "Kathodenzerstäubung - Sputtering" 2013
Language
German
google-scholar
View Details
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST