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Konferenzschrift
Grundlagen der Kathodenzerstäubung
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2013
Conference Paper
Titel
Grundlagen der Kathodenzerstäubung
Author(s)
Bräuer, G.
Hauptwerk
OTTI-Seminar Kathodenzerstäubung - Sputtering
Konferenz
Seminar "Kathodenzerstäubung - Sputtering" 2013
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST