Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Dünnschichttechnologie

Enthält 24 Beiträge: Physikalische Gasphasenabscheidung / Vakuumverdampfen / Bedampfen I / Bedampfen II / Zerstäuben von Oberflächen / Sputter-Abscheidung I / Sputter-Abscheidung II / Vakuumbogen / Vakuumbogen-Abscheidung I / Vakuumbogen-Abscheidung II / Puls-Laser-Deposition (PLD) / Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) / Thermische CVD / Plasma-CVD / Atmosphärendruck-Plasma-CVD / Kombinations- und Mehrschrittverfahren / Beschichtung von Sondergeometrien / Vakuumanforderungen der PVD / Partikelbildung bei der CVD / Plasma-Eigenschaften / Gasentladungs-Plasmen / Plasma-Randschichten / Wechselfeld-Plasmen / Anforderungen an Beschichtungsverfahren
 
: Schultrich, Bernd

:

Vakuum in Forschung und Praxis 28 (2016), No.2, Special issue: Dünnschichttechnologie. Methoden und Verfahren, pp.14-61
ISSN: 0947-076X
ISSN: 1522-2454
German
Journal Article
Fraunhofer IWS ()
Mehrschrittverfahren; Puls-Laser-Deposition; Vakuumverdampfen

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-389333.html