Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Prozessanalyse der Tetramethylammoniumhydroxid-Ätzung von Silizium zur Qualitätsverbesserung optischer Gitter

 
: Benter, Sandra
: Schnabel, Hans-Dieter; Kaden, Christiane

Zwickau, 2016, VI, 44 pp., 7 pp. Anhang
Zwickau, Hochschule, Bachelor Thesis, 2016
German
Bachelor Thesis
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-381878.html