Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Superhard and ultrasmooth carbon films for micromechanical components

 
: Schultrich, B.; Scheibe, H.-J.; Siemroth, P.; Witke, T.

Michel, B.; Winkler, T.; Werner, M.; Fecht, H.-J. ; Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration -IZM-, Berlin; Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V. -DVM-, Berlin:
MicroMat 2000. Proceedings 3rd International Conference and Exhibition Micro Materials : April 17 - 19, 2000, Berlin, Germany
Dresden: ddp Goldenbogen, 2000
ISBN: 3-932434-15-3
pp.876-879
Micro Materials (Micro Mat) <3, 2000, Berlin>
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Conference Paper
Fraunhofer IWS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-38042.html