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Anordnung zur Bestimmung von Eigenschaften und/oder Parametern einer Probe und/oder mindestens einer auf oder an einer Oberfläche einer Probe ausgebildeten Schicht

ARRANGEMENT FOR DETERMINING THE CHARACTERISTICS AND/OR PARAMETERS OF A SAMPLE AND/OR OF AT LEAST ONE LAYER FORMED ON OR IN A SURFACE OF A SAMPLE
 
: Grählert, Wulf; Wollmann, Philipp; Gruber, Florian

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Frontpage ()

DE 102014009372 A1: 20140623
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IWS ()

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Bestimmung von Eigenschaften und/oder Parametern einer Probe und/oder mindestens einer auf einer Oberfläche einer Probe ausgebildeten Schicht. Dabei sind mehrere Detektoren, die zur ortsaufgelösten spektralen Analyse elektromagnetischer Strahlung innerhalb eines Wellenlängenintervalls ausgebildet sind, in einer Reihen oder einer Reihen- und Spaltenanordnung angeordnet. Die Detektoren sind mit einer elektronischen Auswerteeinheit verbunden und so angeordnet, dass von einer breitbandigen Strahlungsquelle emittierte elektromagnetische Strahlung entweder nach einer Reflexion an der Oberfläche der Probe, einer auf der Probe ausgebildeten Schicht oder an der Oberfläche einer Schicht innerhalb der Probe und/oder nach dem Durchstrahlen einer für die elektromagnetische Strahlung transparenten Probe auf die Detektoren auftrifft.; Die Bestrahlung erfolgt so, dass auf einer Fläche, von der die elektromagnetische Strahlung reflektiert oder durch die Fläche transmittiert wird, eine homogene Intensität der elektromagnetischen Strahlung eingehalten ist. Die elektronische Auswerteeinheit ist so ausgebildet, dass die orts- und wellenlängenaufgelöst erfassten Messsignale der Detektoren innerhalb eines Wellenlängenintervalls mit einem durch Simulation erhaltenen theoretischen wellenlängenabhängigen Verlauf der jeweiligen Strahlungsintensitäten oder einem durch eine Kalibrierung an mindestens einer bekannten Probe erhaltenen Verlauf verglichen werden,; um eine Aussage zur Bestimmung mindestens einer Eigenschaft oder mindestens eines Parameters der Probe oder mindestens einer auf oder an der Probe ausgebildeten Schicht für die erfassten Messpositionen und somit die ortsaufgelöste Verteilung mindestens einer Eigenschaft oder mindestens eines Parameters der Probe oder mindestens einer auf oder an der Probe ausgebildeten Schicht zu erhalten.

 

The invention relates to an arrangement for determining characteristics and/or parameters of a sample and/or of at least one layer formed on a surface of a sample. A plurality of detectors, designed for the spatially resolved spectral analysis of electromagnetic radiation within a wavelength interval, are thereby arranged in rows or in a row and column arrangement. The detectors are connected to an electronic evaluation unit and arranged such that electromagnetic radiation emitted from a broadband radiation source is incident on the detectors either after being reflected by the surface of the sample, by a layer formed on the sample, or by the surface of a layer within the sample, and/or after passing through a sample transparent to the electromagnetic radiation. The irradiation is carried out such that a homogenous intensity of the electromagnetic radiation is maintained on a surface, by which the electromagnetic radiation is reflected or through which said radiation is transmitted. The electronic evaluation unit is designed such that the spatially-resolved and wavelength-resolved measurement signals detected by the detectors within a wavelength interval are compared with a theoretical wavelength-dependent progression of the respective radiation intensities obtained through simulation or with a progression obtained by calibration on at least one known sample, in order to obtain information for determining at least one characteristic or at least one parameter of the sample or at least one layer formed on or in the sample for the measurement position detected, and thus the spatially-resolved distribution of at least one characteristic or at least one parameter of the sample or at least one layer formed on or in the sample.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-378993.html