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Optisches Element mit einer reflektierenden Beschichtung

Optical element comprising a reflective coating
 
: Schürmann, Mark; Schwinde, Stefan; Kaiser, Norbert

:
Frontpage ()

DE 102014108679 A1: 20140620
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Es wird ein optisches Element mit einer reflektierenden Beschichtung angegeben, wobei die reflektierende Beschichtung mindestens umfasst: - eine Haftschicht (1), - eine der Haftschicht (1) nachfolgende zumindest teilweise reflektierende Metallschicht (2), und - ein der Metallschicht (2) nachfolgendes Schutzschichtsystem (3), das mehrere dielektrische Schichten (31, 32) enthält, wobei die dielektrischen Schichten (31, 32) mindestens eine erste Schicht (31) und mindestens eine zweite Schicht (32) umfassen, und wobei die erste Schicht (31) und die zweite Schicht (32) eine unterschiedliche Beständigkeit gegenüber mindestens zwei verschiedenen Verunreinigungssubstanzen aufweisen.

 

An optical element comprising a reflective coating is specified, wherein the reflective coating comprises at least: an adhesion layer (1), an at least partly reflective metal layer (2) disposed downstream of the adhesion layer (1), and a protective layer system (3) disposed downstream of the metal layer (2) and containing at least five dielectric layers (31, 32), wherein the dielectric layers (31, 32) comprise at least one first layer (31) and at least one second layer (32), wherein the first layer (31) and the second layer (32) have a different resistance toward at least two different contamination substances, and wherein the dielectric layers (31, 32) of the protective layer system (3) have a thickness of not more than 30 nm.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-378990.html