Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Zerstörungsfreie Analyse

Schichtdicken von Mehrschichtsystemen online messen
 
: Jonuscheit, Joachim

Qualität und Zuverlässigkeit : QZ 59 (2014), No.5, pp.94-96
ISSN: 0033-5126
ISSN: 0720-1214
German
Journal Article
Fraunhofer IPM ()
zerstörungsfreie Prüfung; Schichtdickenmessung; Terahertz-Messtechnik; Terahertz-Welle

Abstract
Die Dicke von Schichten auf nichtmetallischen Substraten wird meist zerstörend gemessen. Terahertz-Wellen, die im Spektrum zwischen Infrarotlicht und Mikrowellen liegen, sind oft die bessere Lösung. Misst man die Laufzeitunterschiede der reflektierten Teilwellen, lässt sich daraus die Schichtdicke zerstörungsfrei bestimmen – vor allem bei Mehrschichtsystemen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-378969.html