Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Magnetic-abrasive machining of silicon wafers - a novel approach

 
: Khomich, M.; Alexeev, Y.; Demmer, A.; Pähler, D.; Dambon, O.; Schneider, U.

Industrial diamond review : IDR (2004), No.3, pp.45-48
ISSN: 0019-8145
ISSN: 0959-8294
English
Journal Article
Fraunhofer IPT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-37888.html