Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Simulation von Plasmaprozessen

 
: Pflug, A.

Ostbayerisches Technologie-Transfer-Institut e.V. -OTTI-, Regensburg; Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik -IST-, Braunschweig:
Kathodenzerstäubung - der Schlüssel für innovative Dünnschichtprodukte : Seminar, 25. - 26. Februar 2015, Braunschweig
Regensburg: OTTI, 2015
pp.145-176
Seminar "Kathodenzerstäubung - der Schlüssel für innovative Dünnschichtprodukte" <2015, Braunschweig>
German
Conference Paper
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-378876.html