Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Weißlichtinterferometer zum Prüfen mikrostrukturierter Oberflächen

 
: Notni, G.; Kaiser, T.; Godejohann, M.

F und M. Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Mikroelektronik 109 (2001), No.1-2, pp.48-50
ISSN: 1437-9503
ISSN: 0944-1018
German
Journal Article
Fraunhofer IOF ()
Weißlichtinterferometrie

Abstract
Die Qualitätssicherung beim Fertigen von Mikrooptik- und Mikromechanikkomponenten erfordert das Vermessen (mikro-)strukturierter Oberflächen mit Strukturtiefen bis zu einigen 100 Mikrometer mit Nanometerauflösung. Die vertikal scannende Weißlichtinterferometrie kann mit derartigen Anforderungen Schritt halten. Nur so wird das hoch auflösende Vermessen sowohl unterschiedlichst strukturierter Oberflächen, zum Beispiel spezieller mikrooptischer und -mechanischer Bauelemente, als auch glatter stetiger Oberflächen mit einem Messverfahren möglich.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-3759.html