Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Influence of aluminum additions on phase-formation in boron- nitride films deposited by magnetron sputtering

 

:

Journal of applied physics 93 (2003), No.4, pp.2009-2014
ISSN: 0021-8979
ISSN: 1089-7550
English
Journal Article
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-37412.html