Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Improvement of Ta-based thin-film barriers on copper by ion- implantation of nitrogen and oxygen

 
: Wieser, E.; Peikert, M.; Wenzel, C.; Schreiber, J.; Bartha, J.W.; Bendjus, B.; Melov, V.V.; Reuther, H.; Mucklich, A.; Adolphi, B.; Fischer, D.

:

Thin solid films 410 (2002), No.1-2, pp.121-128
ISSN: 0040-6090
English
Journal Article
Fraunhofer IWS ()
Fraunhofer IZFP, Institutsteil Dresden ( Fraunhofer IZFP-D) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-37245.html