Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Nanocomposite resist systems for next-generation lithography

 
: Merhari, L.; Gonsalves, K.E.; Hu, Y.; He, W.; Huang, W.S.; Angelopoulos, M.; Bruenger, W.H.; Dzionk, C.; Torkler, M.

:

Microelectronic engineering 63 (2002), No.4, pp.391-403
ISSN: 0167-9317
English
Journal Article
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-37171.html