Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mechanical reliability of MEMS-structures under shock load

 
: Wagner, U.; Franz, J.; Schweiker, M.; Bernhard, W.; Müller-Fiedler, R.; Michel, B.; Paul, O.

:

Microelectronics reliability 41 (2001), No.9-10, pp.1657-1662
ISSN: 0026-2714
English
Journal Article
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-37052.html