Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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In-situ spectroscopic ellipsometry in vertical furnace - monitoring and control of high-temperature processes

 
: Petrik, P.; Schneider, C.

:

Vacuum 61 (2001), No.2-4, pp.427-434
ISSN: 0042-207X
English
Journal Article
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-37011.html