Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Ultrananocrystalline diamond thin-films for MEMS and moving mechanical assembly devices

 
: Krauss, A.R.; Auciello, O.; Gruen, D.M.; Jayatissa, A.; Sumant, A.; Tucek, J.; Mancini, D.C.; Moldovan, N.; Erdemir, A.; Ersoy, D.; Gardos, M.N.; Busmann, H.G.; Meyer, E.M.; Ding, M.Q.

:

Diamond and Related Materials 10 (2001), No.11, pp.1952-1961
ISSN: 0925-9635
English
Journal Article
Fraunhofer IFAM ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-36980.html