Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Suppression of boron penetration through thin gate oxides by nitrogen implantation into the gate electrode

 
: Herden, M.; Bauer, A.J.; Beichele, M.; Ryssel, H.

:

Solid-State Electronics 45 (2001), No.8, pp.1251-1256
ISSN: 0038-1101
English
Journal Article
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-36961.html