Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Reliability of ultrathin nitrided oxides grown in low- pressure N2O ambient

 
: Beichele, M.; Bauer, A.J.; Ryssel, H.

:

Microelectronics reliability 41 (2001), No.7, pp.1089-1092
ISSN: 0026-2714
English
Journal Article
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-36914.html