Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Electrodeposition of photoresist - optimization of deposition conditions, investigation of lithographic processes and chemical-resistance

 
: Schnupp, R.; Baumgärtner, R.; Kuhnhold, R.; Ryssel, H.

:

Sensors and Actuators. A 85 (2000), No.1-3, pp.310-315
ISSN: 0924-4247
English
Journal Article
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-36869.html