Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

CMOS-compatible capacitive high temperature pressure sensors

 
: Kasten, K.; Amelung, J.; Mokwa, W.

:

Sensors and Actuators. A 85 (2000), No.1-3, pp.147-152
ISSN: 0924-4247
English
Journal Article
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-36805.html