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Konferenzschrift
Simulation und Charakterisierung einer bi-direktionalen Dreikammermikropumpe aus Edelstahl
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2015
Conference Paper
Titel
Simulation und Charakterisierung einer bi-direktionalen Dreikammermikropumpe aus Edelstahl
Author(s)
Artelsmair, A.
Wackerle, M.
Richter, M.
Irlinger, F.
Hauptwerk
MEMS, Mikroelemente, Systeme. Proceedings CD-ROM
Konferenz
MikroSystemTechnik Kongress 2015
Language
German
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Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT