Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Technologieentwicklung einer post-process Elektrodenspaltverringerung zur Herstellung von hochauflösenden Sensorsystemen

 
: Meinecke, C.; Mueller, M.; Rennau, M.; Reuter, D.; Ebert, R.; Bertz, A.; Exner, H.; Gessner, T.

Saile, Volker (Chairman) ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
MEMS, Mikroelemente, Systeme. Proceedings CD-ROM : MikroSystemTechnik Kongress 2015, 26. - 28. Oktober 2015 in Karlsruhe
Berlin: VDE-Verlag, 2015
ISBN: 978-3-8007-4100-7
pp.559-562
MikroSystemTechnik Kongress <6, 2015, Karlsruhe>
German
Conference Paper
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-367215.html