Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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EUV Schwarzschild-Objektiv

 
: Feigl, T.

Photonik 37 (2005), No.3, pp.18
ISSN: 1432-9778
German
Journal Article
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Schwarzschild-Objektive werden wegen ihrer großen Apertur, der Freiheit von chromatischen Aberrationen und ihrer hohen mechanischen Stabilität zunehmend zur Strahlformung im extrem ultravioletten (EUV) und weichen Röntgenbereich eingesetzt. Die Einsatzmöglichkeiten derartiger Objektive sind vielfältig und reichen von Anwendungen für die EUV-Lithographie bei 13,5 nm über die Grundlagenforschung mit Synchrotronstrahlung bis zu Abbildungsoptiken für Röntgenlaser

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-36655.html