Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Flash lamp annealing of ITO thin films on ultra-thin glass

Improvement of the electrical and optical properties
Blitzschnelles Tempern von ITO-Dünnschichten auf ultra-dünnem Glas
 
: Weller, Stephanie; Junghähnel, Manuela

:

Vakuum in Forschung und Praxis 27 (2015), No.4, pp.29-33
ISSN: 0947-076X
ISSN: 1522-2454
English
Journal Article
Fraunhofer FEP ()
thin films; ITO; ultra-thin glass

Abstract
Ultra-fast thermal annealing of thin films with annealing times of few milliseconds are faster und more energy efficient than conventional furnace annealing methods. By using flash lamp annealing, only the surface is heated while the substrate remains cold. This allows the refinement of indium-tin-oxide films on rigid and ultra-thin flexible glass and improves their conductivity and transmittance.

 

Die ultra-schnelle Nachbehandlung von Dünnschichten mit Behandlungszeiten von einigen Millisekunden ist bedeutend schneller und energieeffizienter als konventionelle Ofen-Temperverfahren. Bei der Behandlung mit Blitzlampen wird nur die Oberfläche erhitzt, das Substrat hingegen bleibt kalt. Auf diese Weise können Indium-Zinn-Oxid Schichten auf Glas und ultra-dünnem Glas konfektioniert und deren Leitfähigkeit und Transmission verbessert werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-364015.html