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Mikroelektromechanisches System zum Durchstimmen von Lasern

MICROELECTROMECHANICAL SYSTEM FOR TUNING LASERS
 
: Schenk, Harald; Grahmann, Jan; Wagner, Joachim; Ostendorf, Ralf; Rattunde, Marcel

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Frontpage ()

DE 102014201701 A1: 20140130
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
Vorgeschlagen wird eine mikromechanisch gefertigte optische Vorrichtung umfassend: einen Träger (2) zum Tragen der mikromechanisch gefertigten Vorrichtung (1); ein Beugungsgitter (3) zum Beugen von Licht (LI); eine Platte (4) zum Tragen des Beugungsgitters (3); und eine Auslenkeinrichtung (5, 6; 6, 18, 19) zur Auslenkung (PT, PR) der Platte (4) gegenüber dem Träger (2), wobei die Auslenkeinrichtung (5, 6; 6, 18, 19) eine Lagereinrichtung (5; 18, 19) zum beweglichen Lagern der Platte (4) und eine Antriebseinrichtung (6) zum Bewegen der Platte (4) aufweist; wobei die Auslenkeinrichtung (5, 6; 6, 18, 19) zur rotatorischen Auslenkung (PR) der Platte (4) und zur translatorischen Auslenkung (PT) der Platte (4) ausgebildet ist.

 

The invention relates to a micromechanically produced optical device, comprising: a carrier (2) for carrying the micromechanically produced device (1); a diffraction grating (3) for diffracting light (LI); a plate (4) for carrying the diffraction grating (3); and a deflecting apparatus (5, 6; 6, 18, 19) for deflecting (PT, PR) the plate (4) in relation to the carrier (2), wherein the deflecting apparatus (5, 6; 6, 18, 19) has a bearing apparatus (5; 18, 19) for movably supporting the plate (4) and a drive apparatus (6) for moving the plate (4); wherein the deflecting apparatus (5, 6; 6, 18, 19) is designed to rotationally deflect (PR) the plate (4) and to translationally deflect (PT) the plate (4).

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-356584.html