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Vorrichtung mit einem mikromechanischen Bauelement

 
: Pügner, Tino; Knobbe, Jens

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Frontpage ()

DE 102014201095 A1: 20140122
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
DE102014201095A1 [DE] Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung (1) mit einem mikromechanischen Bauelement (2), das ein verstellbares Bauglied (3) aufweist. Es ist gemaess der Erfindung vorgesehen, dass eine Flaechennormale (L) der Lagerungsflaeche (6) und eine Strahlemissionsrichtung (S) der Strahlquelle (4) einen Winkel Alpha einschliessen, der 0 degrees oder kleiner als 5 degrees ist. Bei einer weiteren Vorrichtung (1) der eingangs genannten Art ist erfindungsgemaess vorgesehen, dass die Strahlquelle (4) auf einen Detektor (8) gestapelt angeordnet ist. Zudem bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung (1) mit einem mikromechanischen Bauelement (2), das ein verstellbares Bauglied (3) aufweist. Das Verfahren umfasst das Aufeinanderstapeln einer Strahlquelle (4), die dafuer eingerichtet ist, einen elektromagnetischen Strahl auf das Bauglied (3) zu richten, und eines Detektors (8) zum Bilden eines Stapels (10).

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-356577.html