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MOC-Kondensationsrate - Neue Bewertungszahl für die Leistungsbeurteilung von Reinräumen?

Organische Kontaminationen auf Oberflächen und Bestimmung deren Kondensationsrate
 
: Keller, Markus; Weisser, Stefanie

:
Fulltext (PDF; )

CHEManager (2015), 27.04.2015, 5 pp.
ISSN: 0947-4188
German
Journal Article, Electronic Publication
Fraunhofer IPA ()
Kontaminationsüberwachung; FTIR; Standardisierung; Organik; Molecular Organic Contamination (MOC); Reinraum; Oberfläche; Kondensieren; Klassifizieren

Abstract
Mit einer entsprechenden Reinraumumgebung erreicht man je nach Anforderung und technischer Ausstattung eine definierte kontrollierte partikuläre Reinheit der Atmosphäre im Reinraum. Die nach der Filtration verbleibende Restkonzentration an Partikeln wird in Abhängigkeit deren Größenverteilung als ISO-Klasse nach ISO 14644-1 ausgedrückt. Eine weitere immer wichtiger werdende Kontaminationsart für reine Produktionsumgebungen sind luftgetragene chemische Verbindungen (ACC - airborne contamination by chemicals), welche sich beispielsweise auf Produktoberflächen niederschlagen können. Die ACC-Konzentration wird gemäß ISO 14644-8 als eine ISO-ACC-Klasse (x) gemäß Tabelle 1 ausgedrückt. Tatsächlich prozesskritisch sind hingegen chemischen Verbindungen, welche auf Produktoberflächen kondensieren und folglich eine entsprechende Oberflächenkontamination verursachen. Diese Kontaminationsart wird als SCC (surface contamination by chemicals) bezeichnet. Deren Konzentration wird nach ISO 14644-10 als eine ISO-SCC-Klasse (x) gemäß Tabelle 1 ausgedrückt.
Der für die Klassifizierung notwendige Deskriptor x beschreibt die betrachtete chemische Verbindungsklasse, beispielsweise "VOC" für flüchtige organische Verbindungen, "dp" für Dotierstoffe, "ac" für gasförmige Säuren wie Fluorwasserstoff und Chlorwasserstoff und "ba" für gasförmige Basen wie Ammoniak und flüchtige Amine. Für die Halbleiterindustrie wurde eine Gruppierung der luftgetragenen chemischen Verbindungen (ACC) in der Richtlinie SEMI F21-1102 hinsichtlich ihrer chemischen oder physikalischen Wirkung vorgestellt, welche in der Richtlinie ISO 14644-8 übernommen und erweitert wurde.
In der Raumfahrtindustrie, insbesondere im kontaminationssensitiven Satellitenbau, wird meist der Begriff "MOC" als Abkürzung für "molecular organic contamination" von Oberflächen verwendet. Prinzipiell kann MOC als Synonym für SCC (or) verstanden werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-356228.html