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Modul und Verfahren fuer die Modifizierung von Substratoberflaechen bei Atmosphaerenbedingungen

Process and modular assembly to modify the surface of a metal substrate surface by exposure to plasma.
 
: Maeder, G.; Rogler, D.; Hopfe, V.

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DE 2004-102004015216 A: 20040323
DE 2004-102004015216 A: 20040323
DE 102004015216 A1: 20051013
C23C0016
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IWS ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Modul und Verfahren fuer die Modifizierung von Substratoberflaechen bei Atmosphaerenbedingungen mit einem Plasma, wobei im Wesentlichen bei normalen Umgebungsatmosphaerenbedingungen gearbeitet werden soll. Gemaess der gestellten Aufgabe soll ein Einsatz in flexibler Form und/oder auf grossflaechigen Oberflaechen von Substraten erfolgen koennen. Beim erfindungsgemaessen Modul ist hierfuer ein mobiler Traeger fuer eine Plasmaquelle vorhanden, der in Richtung auf eine jeweilige Substratoberflaeche mindestens eine Austrittsoeffnung fuer Plasma aufweist. Zwischen umlaufend um die Austrittsoeffnung(en) ausgebildeten Abgasabsaugung der Substratoberflaeche ist ein Reaktionsraum ausgebildet. Ausserdem ist eine radial aeussere ebenfalls umlaufend ausgebildete Spuelgaszufuehrung in einen Spalt zwischen Traeger und Substratoberflaeche fuer eine fluiddynamische Abdichtung zur umgebenden Atmosphaere vorhanden. Der Traeger ist dann entlang mindestens einer Achse in Bezug zur Substratoberflaeche bewegbar.

 

DE1004015216 A UPAB: 20051122 NOVELTY - A plasma module modifies a metal surface under atmospheric conditions and has a mobile carrier (1) for an emitter (2) that directs plasma through a hole (3). The hole is surrounded by a gas extractor (4) and forms a reactor chamber (5) above the work piece. The module further has a scouring gas feed (6) in a gap (17) between the carrier (1) and substrate surface. DETAILED DESCRIPTION - The scouring gas forms a seal between the reactor chamber and the ambient air. The carrier (1) is movable parallel with respect to the substrate surface. The carrier is moved in one or two axes over the workpiece by an industrial robot. The plasma source is a light plasma or a microwave plasma source. Also claimed is a commensurate process to modify the surface of a metal substrate. USE - Process and assembly to modify the surface of a metal substrate surface by exposure to plasma, e.g. anti-scratch or anti-abrasion surface finish formed of a carbide, boride, nitride, silicon, aluminium or titanium. ADVANTAGE - The process can be operated under atmospheric conditions and without a hood.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-35455.html