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Verfahren und Vorrichtung zum Intensivieren einer gepulsten Magnetronentladung

Intensifying pulsed magnetron discharge in a vacuum chamber comprises deflecting an additional electron stream from an additional electron source to a first electrode so that ions are formed in the region of the electrode.
 
: Fietzke, F.; Klostermann, H.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Wuensche, T.; Boecher, B.

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DE 102004015230 A: 20040329
DE 2004-102004015230 A: 20040329
DE 102004015230 A1: 20051020
C23C0014
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer FEP ()

Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Betreiben einer mittelfrequent gepulsten Magnetron-Entladung in einer Vakuumkammer (1), umfassend mindestens eine erste Elektrode (5a) und mindestens eine zweite Elektrode (5b), wobei die erste Elektrode (5a) in einem Magnetfeld angeordnet ist und mittels einer ersten Umschalteinrichtung (8) zeitweise als Katode der Magnetron-Entladung schaltbar ist, wobei mitttels einer zweiten Umschalteinrichtung (16) die erste Elektrode (5a) in den Phasen, in denen die erste Elektrode (5a) nicht als Katode der Magnetron-Entladung geschaltet ist, zumindest zeitweise als Anode in den Stromkreis einer zusaetzlichen Elektronenquelle (9) schaltbar ist.

 

DE1004015230 A UPAB: 20051125 NOVELTY - Intensifying a pulsed magnetron discharge in a vacuum chamber (3) comprises deflecting an additional electron stream from an additional electron source (9) to a first electrode (1) for a part of each time period, in which the first electrode is operated non cathodically, so that ions are formed in the region of the first electrode. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a device for operating a pulsed magnetron discharge in a vacuum chamber. Preferred Features: The first electrode alternates as a cathode or anode. A hollow cathode is used as the additional electron source. A thin layer is formed on a substrate using magnetron sputtering. USE - For intensifying a pulsed magnetron discharge in a vacuum chamber. ADVANTAGE - Magnetron discharge are effectively discharged.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-35454.html